[아이뉴스24 황태규 기자] 반도체 정밀화학 소재 전문 기업 와이씨켐이 반도체 장비 사업에 진출한다고 27일 밝혔다.
와이씨켐은 반도체 소재 분야의 개발∙제조∙품질 노하우를 바탕으로 반도체 웨이퍼 특수 세정 장비를 개발해 왔다. 와이씨켐이 개발한 웨이퍼 특수 세정장비는 싱글워터 타입과 배치(batch) 타입 두 방식 모두 가능한 하이브리드 세정장비로 다음 달에 국내 반도체 관련 기업에 공급할 계획이다.
와이씨켐 관계자는 “반도체 고집적화에 따른 웨이퍼 세정의 중요성이 커지고 있다”며 “반도체 특수 세정장비를 매출 포트폴리오 다변화를 위한 신사업으로 성장시킬 방침”이라고 말했다.
또한 반도체 웨이퍼 세정장비와 별개로 고선택비 인산 농도 분석 장비도 개발 중이다. 해당 장비는 고선택비 인산을 사용하는 반도체 제조 라인에서 실시간으로 정확하게 고선택비 인산 농도를 분석해 고선택비 인산 교체 시간을 알려주는 장비다.
회사 관계자는 “현재까지 양산에 적용된 사례가 없어, 상용화 된다면 국내외 첫 사례가 될 것으로 보인다”며 “이르면 연내 글로벌 고객사의 현장 테스트가 가능할 것”이라고 설명했다.
이어 “반도체 장비 분야에서 다음 달 첫 장비 출하를 기점으로 계속해서 성장해 나갈 것”이라고 덧붙였다.
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